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半导体工业电子超纯水设备方案介绍及问题解决

2023-08-28 09:35:54      点击:

纯水设备www.xqccs.com半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大

  规模、超大规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,

  线宽越窄,对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级,分别为

  18MÙ.cm15MÙ.cm10MÙ.cm2MÙ.cm0.5MÙ.cm,以区分不同水质。

  2.电子工业超纯水设备特点

  电子工业超纯水设备通常由多介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理

  系统、RO 反渗透主机系统、离子交换混床(EDI 电除盐系统)系统等构成主要设备系统。原水箱、中间

  水箱、RO 纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水

  质检测控制仪表、电气采用PLC 可编程控制器实验室纯水设备,真正做到了无人值守,同时在工艺选材上采用推荐和客户

  要求相统一的方法,使该设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。

  3.电子工业超纯水的应用领域

  1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水;

  2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水;

  3、实验室和中试车间用超纯水;

  4、汽车、家电表面抛光处理;

  5、光电子产品;

  6、其他高科技精微产品;

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